在潔凈室中產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用或產(chǎn)生各種酸性和堿性物質、有機溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、高活性、有毒性藥物生產(chǎn)過程還會有相應的有害物質排出或泄漏入潔凈室內，按生產(chǎn)工藝過程排出的廢氣的類型可將排風裝置（系統(tǒng)）大體劃分為下列幾種類型，博泰小編帶大家了解關于潔凈室的幾種系統(tǒng)介紹。

（2）有機氣體排風系統(tǒng)   

在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類有機物質、溶劑作為原輔材料或清洗劑時，都將會在相關的場所或設備處散發(fā)有機物質、溶劑的氣體，對這類場所或設備均應設置排風裝置。在一般情況下，有機排風系統(tǒng)中的有機氣體濃度是很低的，若能達到國家標準規(guī)定的大氣排放標準時可直接排入大氣，不需設置廢氣處理裝置；當排風系統(tǒng)中有機氣體濃度超過規(guī)定時，應設有機氣體處理裝置，經(jīng)過處理達標后才能排入大氣。

（3）酸性氣體排風系統(tǒng)

在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學腐蝕、酸液清洗、實驗室內均有酸性氣體排出，在這類酸性氣體的排風系統(tǒng)通常設置溫式洗氣吸收塔，處理后排入大氣。

（4）堿性氣體排風系統(tǒng)

在排風系統(tǒng)氣體中含有堿性物質或在排氣中混入堿性化學試劑，與酸性氣體排風系統(tǒng)類似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。由于大氣排放標準越來越嚴格，需對含有堿性物質（或酸性物質）濃度較低的排氣也應進行凈化處理才能達到排放標準。

（5）熱氣體排風系統(tǒng)

對生產(chǎn)過程中的各種爐子、高溫滅菌設備等均有熱氣排出，由于排氣溫度校高，有時可采用熱回收等方式進行處理，若排氣量較小或不便進行處理時，在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。

（7）特殊氣體排氣系統(tǒng)

在半導體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體，對于這類排氣系統(tǒng)先應按特氣的品種、性質劃分排氣系統(tǒng)，必須防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學反應；其次應選用的廢棄處理裝置，排氣系統(tǒng)的設備、管道的材料選用必須根據(jù)排氣中的特氣性質選擇相適應的額的材質，不得與排放的特氣發(fā)生反應。